ДОПОЛНИТЕЛЬНОЕ ОБРАЗОВАНИЕ
В ТУСУРЕ

ТОЧНЫЕ ЗНАНИЯ
ОТТОЧЕННЫЕ НАВЫКИ

тел. +7 (3822) 70-17-36

Специалист по вопросам поступления

  • Безрукова
  • Вера Петровна

Специалист по вопросам поступления

  • Шушаникова
  • Юлия Викторовна

Специалист по вопросам обучения школьников

  • Тахтабаева
  • Ильмира Хусаиновна

Куратор дистанционного обучения

  • Завадовская
  • Олеся Александровна
 

Современные технологии кремниевой фотоники

Описание программы

Программа направлена на формирование представлений о современных технологиях интегральной фотоники, внедряемых в промышленность в настоящее время. Слушатели освоят технологические процессы, которые составляют основу современного производства кремниевых фотонных интегральных схем: субмикронная литография, эпитаксия, ионное легирование, ионное и плазмохимическое травление наноструктур, плазмохимическое осаждение металлов и диэлектриков. Овладеют навыками выбора оптимальных параметров технологических процессов производства приборов квантовой электроники и фотоники на основе наноструктурных материалов, навыками разработки и оптимизации технологических процессов изготовления компонентов фотонных интегральных схем с учетом доступности и целесообразности их реализации в условиях организации. Изучение технологии создания компонентов фотонных интегральных схем рассмотрено с учетом технологичности и экономической эффективности технологических процессов.

Программа рекомендована Центром Квантовых Технологий физического факультета МГУ для подготовки специалистов в области квантовых технологий. Также программа может быть использована для подготовки специалистов наноиндустрии, относящихся к категории инженер-технолог, к сдаче профессионального экзамена и подтверждения уровня квалификации на соответствие требованиям профессионального стандарта «Специалист по разработке технологии производства приборов квантовой электроники и фотоники».

Рекомендуемая подготовка слушателей:

  • наличие высшего технического образования в области электроники и фотоники,
  • опыт практической работы в должности инженера-технолога,
  • свободное владение ПК и Интернетом.

Программа курса:

  1. Компоненты и технологии фотонных интегральных схем
  2. Технология получения наногетероструктур методами эпитаксии
  3. Субмикронная литография
  4. Ионное легирование полупроводников
  5. Методы осаждения в кремниевой фотонике
  6. Методы травления микро- и наноструктур
  7. Технологические маршруты изготовления гибридных ФИС
  8. Итоговая аттестация

После окончания курса вы будете знать:

  • физико-химические основы современных технологических процессов, используемых при производстве фотонных интегральных;
  • базовые маршруты изготовления фотонных интегральных схем;
  • принципы организации базовых технологических процессов создания компонентов и приборов квантовой электроники и фотоники на основе наноструктурных материалов.

После окончания курса вы будете уметь:

  • разрабатывать технологические маршруты изготовления фотонных интегральных схем;
  • выбирать оптимальные параметры технологических процессов производства приборов квантовой электроники и фотоники на основе наноструктурных материалов;
  • Оценивать возможности запуска производства новых приборов оптоэлектроники и фотоники на основе разработанной технологии и технологической базы.

После окончания курса вы будете иметь практический опыт:

  • навыками выбора базовых вариантов технологии производства приборов квантовой электроники и фотоники с учетом доступности и целесообразности их реализации в условиях организации;
  • навыками разработки базовых технологических процессов изготовления компонентов фотонных интегральных схем;
  • навыками реализации современных способов нанесения, удаления и модифицирования материалов при создании элементной базы фотоники.

Продолжительность обучения:

  • учебная программа: 72 часа.

Организация обучения:

  • Форма обучения: заочная с применением дистанционных образовательных технологий;
  • Формат обучения: вебинары. 

Выдаваемые документы:

  • удостоверение о повышении квалификации ведущего государственного технического вуза.

Телефон: 8 (3822) 70-17-36, 53-30-77
ул. 19 Гвардейской дивизии, 9а,
пр. Ленина, 40, оф. 127